MTM-1510M金相顯微鏡用途:
MTM-1510M測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器,它具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡,以二維測量為主,也可作三維輔助測量。廣泛應(yīng)用于電子組件,精密模具,精密刀具,塑料,PCB加工方面,測鍍膜厚度,手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
MTM-1510M金相顯微鏡特點:
1.X、Y、Z三軸0.5um分辨率;
2.具Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕;
3.同軸表面光/底光量測;
4.內(nèi)建偏光量測光學(xué)模塊;
5.可量測透明材質(zhì)納米級高度差;
6.可選配白光納米檢測模組。
技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號:MTM-1510M
工作臺 金屬臺尺寸(mm):210*160
玻璃臺尺寸(mm):354*228
X、Y運動行程(mm):150*100
X、Y、Z向分辨率(um): 0.5
X、Y坐標(biāo)示值誤差(um): 2.5+L/100
外形尺寸(mm):590*560*850
儀器重量:100kg
Z向行程(mm):120
物鏡放大倍數(shù):5X 、10X 、20X 、50X
目鏡放大倍數(shù):10X
總放大倍數(shù):50X-500X
物鏡放大倍率誤差:包括畸變在內(nèi)的放大率誤差:≦0.08%
透射照明光源:可調(diào)高亮度LED燈源
反射照明光源:可調(diào)高亮度LED燈源
單層透明膜厚度測量模組
高精度測量模式
厚度測量范圍 100nm-300nm 300nm-500nm 500nm-3um
分辨率 5nm 5nm 7.5nm
快速測量模式
厚度測量范圍 3um-20um
分辨率 0.1um